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1、重復(fù)定位精度測量原理重復(fù)定位精度測量主要用到干涉儀的線性測量，即對待測平移裝置的定位進(jìn)行多次測量，比較得到同一位移指令下的定位精度。線性度測量是激光干涉儀的基本測量，原理如圖所示。將一個(gè)角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個(gè)角錐反射鏡…[詳情]

1、平面度 平面測量是在角度測量的基礎(chǔ)上做的延伸，利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對角線的方法測量出平臺上不同位置的高度變化值，就可以得到整個(gè)平臺的平面度。 [詳情]

1、角度測量原理 角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個(gè)相對旋轉(zhuǎn)。相對旋轉(zhuǎn)后，會導(dǎo)致角度測量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會被激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實(shí)現(xiàn)±1…[詳情]

1、直線度測量原理 雙頻激光測頭輸出光經(jīng)過直線度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進(jìn)行干涉測量。通過檢測光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導(dǎo)軌相對于激…[詳情]

1、垂直度測量原理 垂直度測量的主要采用同一個(gè)測量基準(zhǔn)軸對兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)中的每一個(gè)軸測量直線度。對兩個(gè)直線度測量值進(jìn)行比較，算出兩個(gè)軸之間的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)是直線度反射鏡的光學(xué)基準(zhǔn)軸。需要注意的是，兩次測量直線度之間既不移動也不調(diào)整。兩次直線度測量過程中至少一…[詳情]

1、平行度測量原理 平行度測量由兩組直線度測量組成，兩次測量都以直線度反射鏡的光學(xué)軸為參考基準(zhǔn)。需要說明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個(gè)正交平面內(nèi)沿每個(gè)要被比較的軸測量直線度。因此，平行度或平行線測量實(shí)際是四次直線度測量，每次的步驟和方法同測量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]

1、回轉(zhuǎn)軸測量原理利用鐳測激光干涉儀的角度測量附件，結(jié)合高精密轉(zhuǎn)臺，便可以對回轉(zhuǎn)軸進(jìn)行校準(zhǔn)。轉(zhuǎn)臺小巧輕便，單手可握住并可以多種方式安裝到機(jī)床上；支持內(nèi)置電池或線纜供電，藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)；內(nèi)置準(zhǔn)直光靶，提高對光效率；任意角度、任意間隔自動測量。 2、測量步驟和數(shù)據(jù)處理[詳情]